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无氧烘箱

无氧烘箱

高性能无氧烘箱能够在氧气浓度低至100ppm的气氛中,在250℃的温度下进行热处理。这使得该系列非常适合晶圆塑封干燥,银胶固化,晶圆光刻的软烤和硬烤等,以及各类抗氧化热处理。无氧烘箱采用专有的腔室结构和密封技术,具有出色的气密性和温度均匀性,还确保了更高的稳定性和重现性。同时采用由冷却水循环的外部冷却机构,可以在不影响炉内气氛的情况下进行快速冷却,从而缩短处理时间。适用于固化半导体晶圆干燥,IC封装(铜基板,银胶,硅胶,环氧树脂),玻璃基板烘烤等。
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产品详情

产品内容介绍

设备简介
高性能无氧烘箱能够在氧气浓度低至100ppm的气氛中,在250℃的温度下进行热处理。这使得该系列非常适合晶圆塑封干燥,银胶固化,晶圆光刻的软烤和硬烤等,以及各类抗氧化热处理。无氧烘箱采用专有的腔室结构和密封技术,具有出色的气密性和温度均匀性,还确保了更高的稳定性和重现性。同时采用由冷却水循环的外部冷却机构,可以在不影响炉内气氛的情况下进行快速冷却,从而缩短处理时间。适用于固化半导体晶圆干燥,IC封装(铜基板,银胶,硅胶,环氧树脂),玻璃基板烘烤等。

产品特点
1、升温速率可控,设定工艺曲线,一键运行;辅助降温缩短降温时间,提高生产效率;可达到低氧环境,固化效果更好。
2、箱内采用单向水平运风,两侧风道内强压送风,风道两侧采用高密度冲孔风板,精确控制导流板角度,确保箱内温度均匀性。
3、高精度温度控制器,PID调节,控制精度0.1℃,可程式触摸屏控制器,并附设有超温自动停电及报警电路,控制可靠,使用安全。
4、减压阀+双流量计节氮系统,无氧、低氧环境下节省氮气消耗量。
5、采用大功率耐高温长轴马达,大口径不锈钢涡轮扇叶,可在高温环境下长期稳定工作。
6、烘箱内部为不锈钢结构,箱内持续充氮,使烘箱工作室内处于低氧、洁净状态。
7、应用功能强大,老化、退火、测试、固化、干燥、溶剂、涂料和油漆固化、压力缓解等。

选配组件
1、程序控温:可配置程序型温度控制器,实现多组程序控温。
2、测温功能:多点测温查看及记录功能。
3、风门调节:可加装风量调节装置,亦可实现风门开关程序控制。
4、温度记录仪:可配置多通道温度记录仪,打印机或RS485接口,用于连接打印机或PC设备,监控记录温度变化状况。
5、快速降温系统:实现快速升降温的功能。

规格参数

型号
YH-OXY-2SH
工作稳定温度范围
常温~250℃
使用电压
三相五线380V,50Hz
控温精度
±0.1℃
加热功率
4.5KW*2
温度均匀性
±2.5%℃
风机功率
370W*2
温度稳定度
±0.5℃
极限含氧量
<100PPM
降温方式
水冷降温
尺寸
工作尺寸
H(600*2mm*W720mm*D600mm
外观尺寸
H1805mm*W1340mm*D865mm
箱体
箱体外壁材料
SS41#冷轧钢板
箱体内胆材料
304#不锈钢板
保温材料
100K硅酸铝棉,材料不可燃,隔热性强;
容积
260L*2
外箱涂装材料
外表面整体喷粉,烤漆处理,颜色为计算机白,表面不脱粉,不掉漆;
移动脚轮
箱体底部安装4个带刹车万向轮,方便烤箱移动和固定;
工作室
工作室数量
2 每个工作室可分2层,每个工作室可单独设置调节温度。
内部配置
配置4个不锈钢钢支层架,层架上包裹不锈钢网孔板,层架间距可调节。
加热速率
空载情况下从常温升温至175℃≤30分钟,恒温时间可控。
降温速率
175℃降温至80℃≤40分钟
选配
含氧检测仪,真空泵,HEPA高效过滤


半导体无氧烘箱

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